VAT真空閥 21048-QE24-ABA2技術(shù)參數(shù)

遵守適用法規(guī)，并采取必要的預(yù)防措施
使用的工藝介質(zhì)。
考慮材料（→6）和工藝之間可能發(fā)生的反應(yīng)
媒體。
•遵守適用法規(guī)，并對所有人采取必要的預(yù)防措施
您將要做的工作，并考慮本文檔中的安全說明。
•開始工作前，請檢查是否有任何真空部件被污染。遵守相關(guān)規(guī)定并采取必要的預(yù)防措施
處理受污染的零件時。
將安全說明傳達(dá)給所有其他用戶。
如果壓縮空氣進(jìn)入壓縮空氣連接<4>，活塞將相互靠近，閥板將在“0°"位置打開。如果壓縮空氣進(jìn)入壓縮空氣連接<2>，壓縮空氣連接<4>被排出，活塞將彼此遠(yuǎn)離，閥板將在90°位置關(guān)閉。在此位置，閥板的樞轉(zhuǎn)角度可以用調(diào)節(jié)螺釘A或B調(diào)節(jié)±5°，并在閥門未受壓時用相應(yīng)的防松螺母固定。閥板的平行度可能會因操作、長期儲存、污染等而發(fā)生變化。閥板在平行度≤5mm時是緊密的。

VAT真空閥的設(shè)計適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和 超高真空條件。

VAT真空閥是在潔凈室條件下生產(chǎn)的，并為其各自的應(yīng)用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性，即使在 的運(yùn)行條件下也表現(xiàn)佳。64.8 超高真空控制閘閥系列設(shè)計用于在超高真空工藝中為各種應(yīng)用（如半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射或 EUV）提供可靠、精準(zhǔn)的控制和隔離。該系列滿足耐用性、模塊性、密封性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，并且特別注重長正常運(yùn)行時間和低購置成本。
64.8 系列采用 VATLOCK 技術(shù)，可提供可靠的密封，同時不會在閥板密封處產(chǎn)生任何摩擦。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門開度的流導(dǎo)特性。設(shè)備上壓力控制器可計算所需的閥板位置以達(dá)到設(shè)定點(diǎn)壓力。步進(jìn)電機(jī)執(zhí)行驅(qū)動。編碼器監(jiān)控閥板位置。這樣可確?？焖贉?zhǔn)確地控制過程壓力。位于關(guān)閉位置的專用 VATLOCK 鎖定機(jī)制能夠確保在斷電的情況下，將密封隔離與故障保護(hù)關(guān)閉相結(jié)合。
超高真空性能通過金屬閥蓋密封、波紋管密封饋通件和硫化閥板密封件（O 型圈為選件）實(shí)現(xiàn)。
64.8 高真空閘閥已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其 的可靠性。憑借自身堅固的無潤滑劑設(shè)計，64.8 超高真空控制閘閥系列滿足高循環(huán)真空控制閘閥的所有要求