KIMBALL PHYSICS EGH-6210 激光設(shè)備技術(shù)參數(shù)

可聚焦高能電子束，光斑尺寸小至50μm

1keV至60keV

應(yīng)用：

普通真空物理學(xué)
輻射研究
地面轟炸
半導(dǎo)體研究
生物樣本輻射
X射線生成
等離子體激發(fā)
熒光研究
表面物理研究
功能/選項(xiàng)：

小斑點(diǎn)尺寸低至50μm
中等電流束至5mA
高電流束至10mA
靜磁聚焦
靜磁束整形（可選）
靜磁偏轉(zhuǎn)
脈沖能力
操作過(guò)程中的內(nèi)部對(duì)齊
差動(dòng)泵
能量范圍：1keV至60keV
束流：10µA至5mA
光斑尺寸：50µm至10 mm
安裝：2.75英寸（2?）CF

Kimball Physics EGH-6210電子槍及其配套的EGPS-6210電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開(kāi)。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)輸送電子。EGH-6210可用于空間材料測(cè)試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、x射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。

該槍使用單晶六硼化鑭（LaB6）陰極產(chǎn)生高能、可聚焦、小點(diǎn)電子束。束能量和束電流都可以在寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)；能量從1keV到60keV，電流從10μA到5mA。電子束可以通過(guò)控制柵極的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖。
槍的可調(diào)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和一系列的工作距離，適用于各種應(yīng)用。磁聚焦透鏡的光斑尺寸可以從10毫米到50微米不等。磁性定心和可選的整形線圈提供了額外的束控制，允許用戶偏轉(zhuǎn)和整形電子束。整形通常會(huì)產(chǎn)生橢圓光束，其兩個(gè)軸都可以獨(dú)立壓縮或延伸。靜磁聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)整形四極桿都能產(chǎn)生低像差的結(jié)果。此外，陰極到陽(yáng)極的間距可以在內(nèi)部調(diào)節(jié)，以改變導(dǎo)電性。

該 調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火單元相對(duì)于陽(yáng)極和柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)可以在槍打開(kāi)光束的情況下實(shí)時(shí)完成。