更新時(shí)間:2017-12-14
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工業(yè)中常見(jiàn)的泄漏檢測方法有
• 水檢測試法
• 壓降/壓差測試法
• 氫氣測試法
• 氦氣泄漏測試
水檢測試法:
該方法是將充滿(mǎn)氣的部件放入水中,看氣泡出來(lái)。
在泄漏0.06sccm下,每秒在理想的情況下能夠產(chǎn)生一個(gè)泡?,F實(shí)當中,氣泡不能夠很簡(jiǎn)單的離開(kāi)元件表面,所以這種檢漏方法一般只能到達0.6sccm.限制了該方法的工業(yè)應用。
壓降/壓差測試法:
工業(yè)中目前普遍采用的是壓力衰減模式,測試工件內充入規定的測試壓力的空氣或者氮氣,經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的穩定,測試壓力的下降,根據產(chǎn)品的容積計算出泄漏流量,計算公式如下:
壓力泄漏測試法,有以下因素干擾:
√ 溫度問(wèn)題
√ 不適用于柔性測試樣本
常壓腔氦或氫累積泄漏檢測法:
方法是在非真空狀態(tài)下通過(guò)簡(jiǎn)單累積室進(jìn)行的。與空氣測試不同,INFICON 累積法的測試結果不受溫度或濕度的影響,產(chǎn)生極其可靠的測試結果,具有很高的可重復性。
√ 常壓下的檢漏技術(shù)
√ 簡(jiǎn)易、低成本累積腔體
√ 檢漏精度到達10-5mbar.l/s
真空箱氦泄漏檢測法:
產(chǎn)品工件充入對應的檢測壓力,外部腔體抽空,泄漏出來(lái)的氦氣被檢漏儀抓取,檢測出泄漏量。
氦或氫吸槍泄漏檢測法:
使用示蹤氣體的方法:吸槍法
• 總是由內外
• 遠距離高速度的高吸氣氣體流量
• 適用于定位漏率點(diǎn)
• 或已知道漏率大概位置
各種方法檢測精度比較
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