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1531型是一款表面安裝MEMS直流加速度計,專(zhuān)為高溫應用而設計。其性能規格與SDI 1521型幾乎相同,但進(jìn)一步加入了更高溫度的材料。每個(gè)1531型微機電系統直流加速度計都是氮阻尼的、密封的、在氣候室環(huán)境中仔細測試的,并經(jīng)過(guò)嚴格的溫度調節協(xié)議,以確保其在高達+175°C的溫度下持續可靠運行。
每個(gè)微型密封封裝結合了用于直流測量的MEMS電容式感測元件和包括感測放大器和差分輸出的定制集成電路。這種設計確保了該裝置對溫度變化和梯度保持相對不敏感。每個(gè)包裝都經(jīng)過(guò)SDI的單獨測試、編程和校準,并在其頂部和底部表面標有序列號,以便于追溯。此外,每個(gè)單元都有一份可選的校準測試報告(1531-TST),顯示加速度計的測量偏差、比例因子、線(xiàn)性度、工作電流和頻率響應規格。
可用的 G-范圍
± 5 g
± 10 g
± 25 g
± 50 g
± 100 g
± 200 g
± 400 g
低噪聲:12μg/rootHz±5g全尺寸版本的典型值
-55至+175°C操作
對從零(DC)到2000+Hz的頻率作出響應
高穩定性和耐用性
±4V差分輸出
+5 VDC,5 mA電源(典型)
集成傳感器和放大器
內部溫度傳感器
氮氣阻尼和密封
為可追溯性而序列化
符合RoHS
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